Product Data
产品性质参数
高纯材料
High purity materials
常用蒸发参数(仅供参考，以实际为准，不具法律效力)
常用溅射参数(仅供参考，以实际为准，不具法律效力)
高纯材料名录
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高纯材料
常用溅射参数(仅供参考，以实际为准，不具法律效力) > 氧化钇
氧化钇
靶材
|
名称 |
纯度(%) |
密度(g/cm3) |
熔点(°C) |
热导率 |
热膨胀系数 |
莫氏硬度(Mohs) |
溅射电源 |
Bonding类型 |
备注 |
|
氧化钇 |
99.9 |
5.01 |
2410 |
— |
— |
— |
射频， 射频-R |
铟，导电胶 |
失去氧气。薄膜光滑清晰 |
