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真空仪器

Kcell 热蒸发源

Cas号:暂无     货号:PM26207

价格和库存

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1套 45000 1 -      +

热蒸发源,是使用辐射加热的原理,利用热灯丝加热放置在坩埚中的靶材,使材料受热蒸发,从而产成原子/分子

束流,蒸镀到衬底上的一种镀源。特殊设计的灯丝结构,使坩埚受热均匀,确保蒸发稳定。高纯、低放气材料的

使用,以及高效的水冷装置,确保其能够在超高真空环境中使用。


主要参数:

工作温度:                     200-1400(建议700-1300℃

坩埚:                               250px3 Al2O3(其他容量材质可定制)

真空中直径:                 35mmmax

真空中长度:                 200mm(典型值,可根据需要调整)

安装法兰:                     DN40CF2.75”OD,其他型号可定制)

烘烤温度:                     200℃max

热电偶:                          C型热电偶(可定制K型热电偶)

电源功率:                     300W30V10A,其他型号可选)

工作气压:                     超高真空(典型值2x10-10mbar

标准部件:                     水冷罩,手动挡板

 


 

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